マイクロ電気機械システム（MEMS）工学と設計

スマートフォンモーションセンサーから高度な医療用インプラントまで、今日の電子機器における最大のイノベーションは、小型技術によって推進されています。このコースは、マイクロ電気機械システム（MEMS）の世界への明確な道筋を提供し、これらの微小な機械がどのように機能し、微視的なレベルでどのように製造されるかを解き明かします。基本的な物理原理の学習から、機能的なマイクロデバイスを作成するために必要な複雑なワークフローを把握することへと移行し、機械工学と電子工学の交差点を進むために必要な専門知識を習得します。 学習内容： - スケーリングの基本原理と、マイクロスケール運動の独自の物理学を理解する。 - シリコン、ポリマー、圧電薄膜を含む主要なMEMS材料を特定する。 - フォトリソグラフィー、エッチング、表面マイクロマシニングなどの主要な製造技術を探求する。 - 加速度計、ジャイロスコープ、圧力センサーなどの一般的なMEMSデバイスの動作を分析する。 - 信頼性の高いマイクロシステム性能のためのパッケージングおよびテスト要件の知識を適用する。 - BioMEMSの現代的なトレンドと、マイクロセンサーとIoTネットワークの統合を検討する。 このコースは、基礎的な用語と概念から始まり、材料特性と製造段階の詳細な書面による説明へと進みます。その後、特定のデバイスアーキテクチャと、技術的なケーススタディを通じてマイクロスケールシステムを市場に投入する際の実際的な課題を探求します。このコースは、MEMSの事前経験がなくても、マイクロエンジニアリングへの技術的な入門を求めている初心者、学生、専門家向けに設計されています。今日からマイクロスケールエンジニアリングの専門分野で専門知識を構築し始めましょう。