Teknik Mikro dan Nano

Teknologi yang mendasari sensor, telepon pintar, dan alat medis modern bergantung pada struktur yang lebih kecil dari rambut manusia. Mengerti bagaimana sistem skala mikro dan nano ini dirancang dan diproduksi sangat penting bagi generasi berikutnya dari rekayasa perangkat keras. Kursus hanya teks ini memberikan pengenalan komprehensif terhadap proses dasar mikrofabrikasi dan nanofabrikasi. Anda akan berpindah dari memahami sifat dasar silikon ke memahami langkah-langkah kimia dan fisika yang kompleks yang digunakan untuk membangun Sistem Mikro-Elektro-Mekanis (MEMS) yang berfungsi. Dalam kursus ini, Anda akan belajar: 1. 1. Mengerti terminologi inti, sejarah, dan fisika dasar MEMS dan nanoteknologi. 2. Menjelaskan proses langkah demi langkah fotolitografi, deposisi, dan etching dalam lingkungan ruang bersih. 3. Menganalisis sifat mekanik dan listrik silikon dan bahan substrat alternatif. 4. 4.Membandingkan teknik mikromachining massal dan permukaan untuk menciptakan mikrostruktur 3D yang kompleks. 5.Menjelajahi kemajuan fabrikasi modern, termasuk litografi nanoimprint dan etching rasio aspek tinggi. 6.Menilai protokol keamanan ruang bersih, kontrol kontaminasi, dan metode inspeksi kualitas. Kursus ini dimulai dengan konsep dasar fisika skala mikro dan ilmu material sebelum memandu Anda melalui proses kimia dan fisika yang digunakan di ruang bersih modern. Anda akan mempelajari struktur perangkat MEMS dunia nyata, seperti akselerometer dan sensor tekanan, untuk melihat bagaimana langkah-langkah pembuatan ini saling berhubungan dalam praktiknya. Dirancang untuk mahasiswa teknik, teknisi, dan profesional yang penasaran dan baru mengenal nanoteknologi, kursus ini tidak memerlukan pengalaman sebelumnya dalam ruang bersih.